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苏州工控电气维修技术

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提供维修捷佳伟创新能源设备驱动器触摸屏电源控制模块PLC编程等www.suzhou-pcb.com   

2012-05-16 08:55:06|  分类: 默认分类 |  标签: |举报 |字号 订阅

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 提供维修捷佳伟创新能源设备驱动器触摸屏电源控制模块PLC编程等www.suzhou-pcb.com  - 苏州触摸屏维修徐工 - 苏州触摸屏维修
产品名称:PD-305/380型管式PECVD
产品描述:
5段控温恒温区
在1100mm的恒温区范围内,采用5点温控
温控元件采用进口高精度智能温控器
完整的控制,确保实现斜率升降温和更好的梯度平坦性数字化控制,消除了
模拟变量传输的干扰
进口 Panel Pc一体化工业平板15寸触摸计算机
进口 Mitsubishi多功能PLC
每管Panel PC+PLC控制
工艺舟自动装载
国内唯一机械手独立控制、联机检测计算机、传感器进行监控、连锁
配置装卸小车:方便石墨舟的进出
操作台区域配置局部洁净层流
进口射频电源,脉冲式放电
进口 AE 40KHz,5Kw的射频电源
脉冲式射频输出
有效的脉冲频率控制
进口防腐蚀干泵
进口 防腐蚀干泵
完整的真空系统
波纹管隔离振动
进口 MKS 薄膜规,测量准确
炉口的特殊设计
针对炉口热量散发严重,温度反应慢、波动大的问题
特别改善炉口的保温方法
增大炉口段的加热功率,有效的炉口法兰水冷处理
进口阀门及自动压力调节、全进口VCR接头
SiO2工艺,该设备可选SiO2工艺配置,有助于PECVD系统工艺气氛稳定,采用N2O进行SiO2工艺,实现多层膜技术。
SiC 悬臂杆送取舟,石墨舟软着陆,SiC 悬臂杆将石墨舟送入反应管后离开反应管。实现工艺舟的软着陆,SiC 杆可做到不清洗,没有杆的遮挡,工艺效果更佳。
串级温度控制系统
国内唯一的串级温度控制方法,实现5段自动适时恒温区,确保工艺片分分秒秒处于真正的恒温区,同时炉管内工艺反应区域炉温能自动快速响应与恢复,最大限度地保障工艺片需要的准确温度,可有效地提高工艺片的均匀性。
中央计算机集中控制
单管单控计算机可以实现各管单独工艺控制,但独特的中央计算机集成控制可以实现整合,整车间设备的集中控制和远程控制。

技术参数
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